Материалы меняют мир: китайский ученый получил пожертвование от мирового гиганта оборудования
Корпорация Lam Research профинансирует исследования китайского ученого Да Бо в области передовых материалов для оборудования травления нанометровых техпроцессов
Короткое резюме
Мировой производитель полупроводникового оборудования Lam Research объявил о целевом пожертвовании Национальному институту материаловедения (NIMS) Японии. Средства будут направлены на разработку ключевых материалов и компонентов для установок травления передовых техпроцессов, а руководить проектом будет китайский учёный Да Бо. Это событие знаменует собой стратегический поворот отрасли к «материальной» основе развития.
С переходом литографии на узлы 1 нм и ниже стабильность, совместимость и предельные характеристики материалов становятся критическими факторами, определяющими точность и эффективность травления и, в конечном итоге, выход годных чипов. Джон Э. Догерти, вице-президент Lam Research, подчеркнул, что понимание поведения материалов в экстремальных производственных условиях требует сочетания строгих исследований и инженерных инноваций. Учёный Да Бо, выпускник Университета науки и технологий Китая, уже почти 20 лет работает в NIMS и известен созданием первого в мире цилиндрически-симметричного вращающегося кристалла, открыв направление «электронной дифракционной оптики».
Данное пожертвование рассматривается как признание заслуг команды Да Бо и сигнал о смещении конкуренции ведущих производителей оборудования в область фундаментального понимания материаловедения. Разрабатываемый Да Бо подход «начиная с материала» направлен на атомарно точное управление свойствами, интеграцию в компоненты и оборудование, что должно привести к повышению выхода годных и снижению себестоимости за счёт эффекта масштабирования. Команда уже получила поддержку от таких японских гигантов, как Kao, Hitachi и Sumitomo.
Переход к материалоцентричному развитию
Конкуренция в полупроводниковой индустрии смещается от системных решений к контролю над предельными свойствами материалов для нанометровых техпроцессов
Признание китайского учёного
Китайский учёный Да Бо возглавит финансируемый Lam Research проект в Японии, что свидетельствует о международном признании его подхода «от материала»
Ключевые материалы для 1 нм
Стабильность и совместимость материалов (в т. ч. карбида кремния (SiC), нитрида галлия (GaN)) в экстремальных условиях травления — главный фактор выхода годных чипов при переходе к узлам 1 нм и ниже
Прорыв в методах управления электронами
Открытие цилиндрически-симметричного вращающегося кристалла и метода «электронной дифракционной оптики» создаёт новую технологическую платформу для параллельных электронно-лучевых устройств
Текст сгенерирован с использованием ИИ
